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石墨卡瓣是多晶炉中重要的零部件之一，石墨卡瓣在不同的用途下制造形状有略微的差异，石墨卡瓣的质量直接决定了晶硅的质量，在石墨卡瓣制造要严格选材和精细加工制造。
石墨埚托
石墨底盘加热器
保温桶
石墨加热套
